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沉積氣體

顯示面板行業(yè)，CVD沉積制備氮化硅層和a-Si可以使用硅烷氣體。在LCD中，被用來制作TFT保護層和絕緣層。

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產(chǎn)品介紹
硅烷
三氟化氮
磷烷

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